一种低损耗高可靠性反射镜

摘要

本发明涉及一种离子束溅射制备的激光陀螺使用的高可靠性反射镜。本发明是在纳米级石英基底上采用双离子束溅射沉积工艺交替镀制规整的四分之一工作波长TiO2/SiO2薄膜高反膜系，并在最外层镀制一层极薄的空气界面层材料HfO2，镀制完成后对反射镜薄膜在空气中进行340℃/6h的后处理工艺。本发明反射镜呈现极低损耗、极低散射，并具有高的抗激光损伤阈值、340℃以内的热稳定性，及良好的耐等离子放电环境能力，在等离子能量200w的环境内，反射镜可以保持15000Sec以上的光学性能稳定。采用本发明技术制备的反射镜，在陀螺谐振腔内工作性能稳定，具有高的环境可靠性，能够满足高精度激光陀螺的应用要求。

主权项

一种低损耗高可靠性反射镜，其包括石英基底，其特征在于：在石英基底上镀制高低折射率层相互交叠的规整四分之一工作波长高反射膜系，所述高反射膜系最外侧的高折射率层上设有一层极薄的HfO2薄膜。