薄膜沉积设备及制造有机发光显示装置的方法

摘要

一种薄膜沉积设备及制造有机发光显示装置的方法，所述薄膜沉积设备可以在沉积工艺期间与基板精确对准。所述设备包括：沉积源；沉积源喷嘴单元，包括布置在第一方向上的多个沉积源喷嘴；以及图案化狭缝片，具有布置在与所述第一方向垂直的第二方向上的多个图案化狭缝，其中在所述基板相对于所述薄膜沉积设备在所述第一方向上移动时执行沉积，所述图案化狭缝片具有彼此隔开的第一对准标记和第二对准标记，所述基板具有彼此隔开的第一对准图案和第二对准图案，所述薄膜沉积设备进一步包括用于给所述第一对准标记和所述第一对准图案照相的第一照相机组件，和用于给所述第二对准标记和所述第二对准图案照相的第二照相机组件。

主权项

一种薄膜沉积设备，用于在基板上形成薄膜，所述设备包括：沉积源，用于释放沉积材料；沉积源喷嘴单元，被设置在所述沉积源的一侧，所述沉积源喷嘴单元包括布置在第一方向上的多个沉积源喷嘴；以及图案化狭缝片，与所述沉积源喷嘴单元相对设置，所述图案化狭缝片具有布置在与所述第一方向垂直的第二方向上的多个图案化狭缝，其中在所述基板相对于所述薄膜沉积设备在所述第一方向上移动时执行沉积，所述图案化狭缝片具有彼此隔开的第一对准标记和第二对准标记，所述基板具有彼此隔开的第一对准图案和第二对准图案，所述薄膜沉积设备进一步包括用于给所述第一对准标记和所述第一对准图案照相的第一照相机组件，和用于给所述第二对准标记和所述第二对准图案照相的第二照相机组件。