使用单一数据处理单元的多重工具

摘要

本发明是有关于一种使用单一数据处理单元的多重工具，用以经由影像束工艺而同时处理多片基材的方法与系统，此系统包括多重曝光模组，上述曝光模组可直接写入基材，配置上述曝光模组以自数据处理单元接收写入指令。本发明的系统与方法采用多重曝光模组，多重曝光模组自单一数据处理单元接收写入指令。

主权项

一种用于直接写入图案的系统，其特征在于其包括：多个直接写入曝光单元；以及一单一数据处理单元，耦接在每一上述直接写入曝光单元，该单一数据处理单元配置为送出相同的一写入指令至每一上述直接写入曝光单元，其中该直接写入曝光单元写入每一基材的步骤实质上为同步实施。