抛光设备及其抛光治具

摘要

本发明提供一种抛光治具，藉以节省抛光过程所需耗费的时间，其包含模板及轴承。模板中间设置有轴承孔，且模板上具有数个槽孔以供基板穿设卡合，其中槽孔是相对于模板上承载基板的表面而倾斜地设置，而轴承是穿设于模板中间的轴承孔，并固定模板。此外，一种抛光设备亦在此揭露，藉以使面板或基板抛光后的质量趋于稳定。

主权项

一种抛光治具，其特征在于，包含：一个模板，该模板中间设置有一个轴承孔，该模板上具有若干个槽孔以供基板穿设卡合，这些槽孔相对于该模板上承载基板的表面倾斜地设置，这些槽孔的宽度略小于基板的厚度，以使基板插入这些槽孔时，受到一个夹持力足以防止在研磨过程中基板从槽孔中滑落出去；以及一个轴承，穿设于该模板中间的该轴承孔，该轴承更包含一个第一连接件以及一个第二连接件，该第一连接件和该第二连接件透过该轴承孔相互连接并固定，以将该模板固定于该第一连接件和该第二连接件之间。