Vorrichtung zum Behandeln von flachen, zerbrechlichen Substraten

摘要

Es wird eine Vorrichtung (1) zum Behandeln von flachen, zerbrechlichen Substraten (2) beschrieben, bei der die Substrate (2) in einer Behandlungskammer mit einer Behandlungsflüssigkeit (14) beaufschlagt werden. Sie werden dazu von einer Transporteinrichtung (3) in einer Mehrzahl von zueinander parallelen Spuren im horizontalen Durchlauf durch die Behandlungskammer geführt. Mindestens eine Gegenhalteeinrichtung (7, 22) greift an der nach oben zeigenden Seite der Substrate (2) an und verhindert deren Abheben von der Transporteinrichtung (3). Hierzu sind mehrere Gegenhalteelemente (7) an einer gemeinsamen, die unterschiedlichen Spuren übergreifenden Welle (22) so befestigt, dass sie in vertikaler Richtung unabhängig voneinander bewegbar und so in der Lage sind, auf die Substrate (2) einen von deren Dicke im wesentlichen unabhängigen Druck auszuüben.