| 主权项 |
一种电浆室，其包括：一具有一内表面的第一室部分；一第二室部分，与该第一室部分连接，以界定一内室区域；一第一电极，与该第一室部分间隔一第一距离；一第二电极，位于该第一电极和该第二室部分之间，以界定该第一和第二电极之间的一电浆区域；一导电件，位于该第一室部分和该第一电极之间，且与该第一室部分连接以便生成可减少该电浆室有效电感的一电流路径。如申请专利范围第1项所述的电浆室，其中该电浆室有效电感具有一不大于约12欧姆至15欧姆的感抗(inductive reactance)。如申请专利范围第1项所述的电浆室，其中该导电件与该第一电极大体上平行，并且其长度和宽度与该第一电极大致相同。如申请专利范围第1项所述的电浆室，其中该导电件至少包含铝。如申请专利范围第1项所述的电浆室，其中该导电件与该第一电极的距离大约是0.5英寸至2.0英寸。如申请专利范围第1项所述的电浆室，其中该导电件与该第一电极的距离大约是1.5英寸至1.75英寸。如申请专利范围第1项所述的电浆室，其中该第一电极是一上电极。如申请专利范围第1项所述的电浆室，其中该电浆室具有一尺寸至少约为1.8米×2.0米的室。一种电浆室，包括：一具有一内表面的第一室部分；一第二室部分，与该第一室部分连接以界定一内室区域；一第一电极，与该第一室部分间隔一第一距离；一第二电极，位于该第一电极和该第二室部分之间，以界定该第一和第二电极之间的一电浆区域；其中该第一室部分的厚度被增加，以便生成可减少该电浆室有效电感的一电流路径。如申请专利范围第9项所述的电浆室，其中该电浆室有效电感具有一不大于约12欧姆至15欧姆的感抗。如申请专利范围第9项所述的电浆室，其中该第一室部分的内表面与该第一电极的距离大约是0.5英寸至2.0英寸。如申请专利范围第9项所述的电浆室，其中该第一室部分的内表面与该第一电极的距离大约是1.5英寸至1.75英寸。如申请专利范围第9项所述的电浆室，其中该第一电极是一上电极。如申请专利范围第9项所述的电浆室，其中该电浆室为一尺寸至少约为1.8米×2.0米的室。一种与一电浆室一起使用的设备，该电浆室包括：一具有一内表面的第一室部分；一与该第一室部分连接以界定一该内室区域的第二室部分；一与第一室部分间隔一第一距离的第一电极；以及一位于该第一电极和该第二室部分之间以界定该第一和第二电极之间之一电浆区域的第二电极，该设备包括：一导电件，适于设于该第一室部分和该第二电极之间且与该第一室部分连接以便生成可减少该电浆室有效电感的一电流路径。如申请专利范围第15项所述的设备，其中该导电件适于与该第一电极大体上平行，且其长度和宽度大致与该第一电极相同。如申请专利范围第15项所述的设备，其中该导电件包括铝。如申请专利范围第15项所述的设备，其中该导电件适于与该第一电极相隔约0.5英寸至2.0英寸。如申请专利范围第15项所述的设备，其中该导电件适于与该第一电极相隔约1.5英寸至1.75英寸。一种电浆室，其至少包括：一具有一内表面的第一室部分；一第二室部分，与该第一室部分连接以界定一内室区域；一第一电极，与该第一室部分间隔一第一距离；一第二电极，位于该第一电极和该第二室部分之间以界定该第一和第二电极之间的一电浆区域；其中该第一室部分的厚度被增加，以便生成可减少该电浆室有效电感的一电流路径；其中该第一室部分的内表面位于该第一电极之上大约0.5英寸至2.0英寸之处；且其中该电浆室具有一尺寸至少约1.8米×2.0米的室。如申请专利范围第20项所述的电浆室，其中该第一室部分的内表面与该第一电极的距离大约是1.5英寸至1.75英寸。一种电浆室，包括：一具有一内表面的第一室部分；一第二室部分，与该第一室部分连接以界定一内室区域；一第一电极，与该第一室部分间隔一第一距离；一第二电极，位于该第一电极和该第二室部分之间以界定该第一和第二电极之间的一电浆区域；一导电件，位于该第一室部分和该第一电极之间且该与第一室部分连接，以便生成可减少该电浆室有效电感的一电流路径；其中该导电件与该第一电极的距离大约是0.5英寸至2.0英寸；且其中该电浆室具有一尺寸至少约1.8米×2.0米的室。如申请专利范围第22项所述的电浆室，其中该导电件与该第一电极的距离大约是1.5英寸至1.75英寸。一种处理一基材之方法，其至少包括：应用申请专利范围第16项或23项任何一项之电浆室来处理平板显示器所用之基材。如申请专利范围第24项所述的方法，其中该电浆室具有一感抗不大于约12欧姆至15欧姆的一有效电感。如申请专利范围第24项所述的方法，其中该电浆室具有一不大于约0.3欧姆至2.0欧姆的有效电阻。 |
