用于大面积等离子体加工的装置

摘要

根据本发明，一种用于大面积等离子体加工的装置包括至少一根平面天线(A)，具有多个互连的基本共振网孔(M1、M2、M3)，每一个网孔(M1、M2、M3)都包括至少两个导电引脚(1、2)和至少两个电容(5、6)。射频发生器将所述天线(A)激发为其共振频率中的至少一种。加工室靠近所述天线(A)。所述天线(A)生成的电磁场场型具有非常良好地限定的空间结构，这就允许很好地控制等离子体的激发。

主权项

一种用于等离子体加工的装置(50)，包括：a.至少一根平面天线(A)，b.激发所述天线(A)的至少一个射频发生器(20)，c.气体喷射系统(55)和扩散器，d.靠近所述天线(A)的加工室(51)，e.其中所述平面天线(A)包括多个互连的基本共振网孔(M1、M2、M3)，每一个网孔(M1、M2、M3)都包括至少两个导电引脚(1、2)和至少两个电容(5、6)，以使所述天线(A)具有多个共振频率，以及f.其中所述射频发生器(20)将所述天线(A)激发至其共振频率中的至少一个。