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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITION OF DIFFUSION THIN FILM
摘要
申请公布号
EP2222888(A4)
申请公布日期
2012.01.11
申请号
EP20070834218
申请日期
2007.11.22
申请人
INTELLIGENT SYSTEM INC.
发明人
BAE, SANG-YOUL;CHOI, SI-YOUNG;CHUNG, SUNG-YOUP;CHOI, JUNG-HYUN
分类号
C23C14/46;C23C14/34
主分类号
C23C14/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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