多喷嘴气体团簇离子束系统和方法

摘要

公开了一种用于将工艺气体混合物或多种工艺气体混合物引入到气体团簇离子束(GCIB)系统(100、100’、100”)中的多喷嘴和分离器组件以及在衬底(152、252)上生长、改性、沉积或掺杂层的相关操作方法。多喷嘴和分离器组件包括至少两个喷嘴(116、1016、2110、2120、4110、4120、7010、7020)，这些喷嘴被布置成相互紧靠以将从喷嘴喷射出的气体团簇束至少部分地合并成单一气体团簇束(118)和/或被倾斜以将每一束朝向单一相交点(420)而会合以形成一组相交的气体团簇束，以及将单一和/或相交的气体团簇束引导到气体分离器中。

主权项

一种用于气体团簇离子束(GCIB)系统的喷嘴和分离器组件，其包括：气体分离器，至少两个喷嘴的组，其用于形成和喷射气体团簇束，所述至少两个喷嘴的组被设置成相互紧靠，从而将从所述至少两个喷嘴的组喷射出的气体团簇束至少部分地合并成单一气体团簇束，并将所述单一气体团簇束引导到所述气体分离器中，第一气体供应器，其与第一喷嘴子组流体连通，所述第一喷嘴子组包括所述至少两个喷嘴的组中的至少一个喷嘴，第二气体供应器，其与第二喷嘴子组流体连通，所述第二喷嘴子组不同于所述第一喷嘴子组，且包括所述至少两个喷嘴的组中的至少一个喷嘴，其中所述第一气体供应器被配置成供应第一气体混合物，所述第二气体供应器被配置成供应第二气体混合物，且所述第一气体混合物和所述第二气体混合物是不同的。