Erfassung der Oberflächenstruktur einer Objekt-Oberfläche

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Erfassen einer Oberflächenstruktur einer Oberfläche eines Objekts (1), wobei a) ein Muster elektromagnetischer Wellen von einer Muster-Quelle (2, 4) auf die Oberfläche des Objekts (1) projiziert wird, so dass ein projiziertes Muster auf die Oberfläche des Objekts (1) auftrifft, b) ein erstes reflektiertes Bild, das ein Ergebnis einer Reflexion des projizierten Musters durch die Oberfläche ist, von einer Kamera (5) empfangen wird und aufgezeichnet wird, wobei das erste Bild als ein digitales Bild aufgezeichnet wird und Pixel aufweist, c) das projizierte Muster in einer Richtung quer zu einer Projektionsrichtung, in welcher sich die elektromagnetischen Wellen ausbreiten, verschoben wird, so dass gleiche Teile des projizierten Musters an unterschiedlichen Positionen der Oberfläche des Objekts (1) auftreffen, verglichen mit dem projizierten Muster vor Verschiebung des Musters, wobei das Muster durch Bewegung von zumindest einem Teil der Muster-Quelle (2, 4) verschoben wird, d) ein zweites reflektiertes Bild, das ein Ergebnis einer Reflexion des projizierten Musters durch die Oberfläche ist, von einer Kamera (5) empfangen wird und aufgezeichnet wird, wobei das zweite Bild als ein digitales Bild aufgezeichnet wird und Pixel aufweist, e) Schritte c) und d) wiederholt werden, so dass weitere digitale Bilder aufgenommen werden, die verschiedenen Verschiebungs-Positionen des projizierten Musters entsprechen, f) für eine Mehrheit von Pixel des ersten Bildes eine Zuordnung des jeweiligen Pixels zu einer Koordinate eines entsprechenden Punktes des Musters von elektromagnetischen Wellen in einem Koordinatensystems des Musters bestimmt wird, indem das erste Bild, das zweite Bild und die weiteren Bilder ausgewertet werden, g) unter Verwendung der Zuordnung und geometrischer Beziehungen der Position und Orientierung der Muster-Quelle (2, 4) und der Kamera (5) die Oberflächenstruktur bestimmt wird, wobei in Schritt f) für jedes der Pixel ein parametrisiertes Modell auf die aufgezeichneten Bildwerte des ersten, zweiten und weiterer Bilder gefittet wird, wobei Bildwerte eine Funktion der Verschiebungs-Position sind, so dass zumindest ein gefitteter Parameter für jedes der Pixel in Schritt f) erhalten wird, und wobei der gefittete Parameter verwendet wird um die Zuordnung des Pixels zu der Koordinate des entsprechenden Punkts des Musters elektromagnetischer Wellen zu bestimmen.