一种测量球面反射镜曲率半径的装置与方法

摘要

本发明公开了一种测量球面反射镜曲率半径的装置与方法，涉及光学加工检测的测量技术领域，其装置包括球心瞄准系统、组合测杆、测微头和支撑调整架。本方法首先通过球心瞄准系统找到被测球面的球心，然后把测微头安装在组合测杆的两端，再使用支撑调整架把测杆架设在被测球面的球径上，调整支撑架，使近球心端测微头的测头球心与球心瞄准系统的焦点重合。本发明测量精度高，使用简单方便，避免了采用昂贵的大尺寸测量仪器，降低了检测成本；本发明适用于球面光学加工的在线检测。

主权项

一种测量球面反射镜曲率半径的装置，其特征在于，该装置包括球心瞄准系统、组合测杆(8)、测微头甲(7)、测微头乙(9)、支撑调整架甲(10)和支撑调整架乙(11)；球心瞄准系统的焦点与被测球面(12)的球心重合，测微头甲(7)、测微头乙(9)分别安装在组合测杆(8)的两端，且测微头甲(7)和测微头乙(9)的测量线与组合测杆(8)同轴，组合测杆(8)通过支撑调整架甲(10)和支撑调整架乙(11)被架设在被测球面(12)的任一球径上；所述的球心瞄准系统由点光源(3)、准直透镜甲(2)、准直透镜乙(4)、准直透镜丙(5)、分光棱镜(6)、CCD(1)和球心瞄准系统支撑调整架丙(13)组成，点光源(3)位于准直透镜乙(4)的焦点上，CCD(1)位于准直透镜甲(2)的焦平面上，准直透镜丙(5)与准直透镜甲(2)的光轴重合，点光源(3)发出的光经准直透镜乙(4)汇聚为平行光束，经分光棱镜(6)转折，被准直透镜丙(5)汇聚照射到被测球面(12)上，经被测球面(12)反射，原路返回，经准直透镜丙(5)变为平行光束，再经分光棱镜(6)，被准直透镜甲(2)汇聚，成像在CCD(1)的靶面上。