基片传输装置及其控制系统和控制方法

摘要

本发明公开了一种基片传输装置及其控制系统和控制方法，在负载端口中设置了一个激光传感器或激光测距器，用于判断锁闭器端口面板的位置改变，并把位置改变信号传给控制系统，当出现误操作或错误设定参数而致使夹具上的片盒和伸出的锁闭器端口面板发生误挤压时，控制系统能停止基片升降驱动装置的电机工作，停止片盒继续下降，以避免对设备造成损坏。可以用在负载锁闭器和负载端口的安全联合调试的过程中，也可以用在基片的加工过程中，能有效避免片盒与锁闭器端口面板之间发生误挤压。

主权项

一种基片传输装置，包括负载端口，其特征在于，所述负载端口中设有闭锁器端口面板高度检测装置，所述锁闭器端口面板与负载锁闭器的腔室内的机械手臂连接。