| 发明名称 |
DIMINUTION DES EFFETS DE CASQUETTES DUES A L'ABLATION LASER D'UN NIVEAU METALLIQUE PAR UTILISATION D'UNE COUCHE DE POLYMERE PHOTO- OU THERMO-RETICULABLE NON RETICULE |
| 摘要 |
<p>Utilisation d'un matériau réticulable au laser et se présentant sous forme non réticulée ou partiellement réticulé (10) pour protéger un couche métallique (4) de la gravure laser.</p> |
| 申请公布号 |
FR2959865(A1) |
申请公布日期 |
2011.11.11 |
| 申请号 |
FR20100053566 |
申请日期 |
2010.05.07 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
HEITZMANN MARIE;BENWADIH MOHAMMED |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L51/40 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
