气敏元件强制换气冷热泵微加工制造方法

摘要

本发明提供的是一种气敏元件强制换气冷热泵微加工制造方法，它涉及到气敏元件的制造方法。本发明解决了敏感元件周围易产生耗尽区域的问题，提高了气敏元件的线性度和使用性能，延长了气敏元件的标校期。本发明的制造方法由以下工步组成：沉积铝膜-复制冷热泵图形-三氧化二铝(Al2O3)膜片制作-热处理-金属化-粘接固定。用本发明方法制造出的气敏元件可以迫使元件的内部检测后的废气体与外界需检测的新气体强制换气，在气敏元件的气室内形成气体交换环流，保障了气敏元件检测的真实性和可靠性；同时，降低了敏感元件的结碳失效率，有助于检测监控装备的选择和应用。

主权项

一种气敏元件强制换气冷热泵微加工制造方法，其特征在于以下六个工步：沉积铝膜‑复制图形‑三氧化二铝(Al2O3)膜片制作‑热处理‑金属化‑粘接固定。