发明名称 POLYMER TEMPLATE, MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME, AND MICROFLUIDIC CHANNEL USING THE SAME AND MANUFACTURING METHOD FOR THE MICROFLUIDIC CHANNEL
摘要
申请公布号 KR20110113938(A) 申请公布日期 2011.10.19
申请号 KR20100033293 申请日期 2010.04.12
申请人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 SEO, TAE SEOK;CHOI, JONG SEOB
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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