发明名称 半导体元件及其制作方法
摘要 本发明提供一种半导体元件及其制作方法,该半导体元件包括:一基底;一电极,位于基底上方;一压电层,设置于基底和电极之间,当电极产生一电场时,压电层使基底产生应变。本发明提供的半导体元件和方法,能够于不同的操作下调整沟道的应变。
申请公布号 CN102214703A 申请公布日期 2011.10.12
申请号 CN201010260685.5 申请日期 2010.08.19
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 黄敬源;詹前泰;林大文;吴忠政
分类号 H01L29/96(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L29/96(2006.01)I
代理机构 北京市德恒律师事务所 11306 代理人 陆鑫;高雪琴
主权项 一种半导体元件,包括:一基底;一电极,位于该基底上方;一压电层,设置于该基底和该电极之间,当该电极产生一电场时,该压电层使该基底中产生应变。
地址 中国台湾新竹市