发明名称 A METHOD AND APPARATUS FOR ACCURATE DETERMINATION OF PARAMETERS OF A STACK OF THIN FILMS
摘要
申请公布号 IL214467(D0) 申请公布日期 2011.09.27
申请号 IL20110214467 申请日期 2011.08.04
申请人 BRIGHTVIEW SYSTEM LTD;FINAROV MOSHE 发明人
分类号 H01L 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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