一种提高声表面波气体传感器温度稳定性的方法

摘要

本发明公开了一种提高声表面波气体传感器温度稳定性的方法，所述声表面波气体传感器是由声表面波器件和敏感薄膜所构成的气敏元件，声表面波器件包括压电基片、电极和波导层构成，所述敏感薄膜设置在声表面波器件表面，其特征在于，通过改变改变压电材料、改变压电材料的切向、改变波导薄膜的厚度或者改变敏感薄膜的厚度使所述气敏元件的频率温度系数为负值。该方法简单合理，在没有改变气体传感器的结构的基础上，实现了温度的自补偿。

主权项

一种提高声表面波气体传感器温度稳定性的方法，所述声表面波气体传感器是由声表面波器件和敏感薄膜所构成的气敏元件，声表面波器件包括压电基片、电极和波导层构成，所述敏感薄膜设置在声表面波器件表面，其特征在于，通过改变压电材料、改变压电材料的切向或改变波导薄膜的厚度使所述气敏元件的频率温度系数为负值。