发明名称 聚氨酯发泡体的制造方法
摘要 本发明的目的在于提供具有近似球状的气泡、厚度精度优良的研磨垫的制造方法。本发明涉及一种研磨垫制造方法,包括:通过机械发泡法制备气泡分散的氨基甲酸酯组合物的工序;在输送面材A(9)的同时从一个排出口将气泡分散的氨基甲酸酯组合物(11)连续地排出到该面材A的宽度方向的近似部的工序;在该气泡分散的氨基甲酸酯组合物上层压面材B(14),之后通过厚度调节工具(15)将气泡分散的氨基甲酸酯组合物的厚度调节均匀的工序;不施加另外的负荷而使前一工序中进行了厚度调节的气泡分散的氨基甲酸酯组合物固化,由此形成包含聚氨酯发泡体的研磨片的工序;和切割研磨片的工序。
申请公布号 CN101616773B 申请公布日期 2011.09.14
申请号 CN200880005623.0 申请日期 2008.02.29
申请人 东洋橡胶工业株式会社 发明人 广濑纯司;福田武司;堂浦真人;佐藤彰则;中村贤治
分类号 B24B37/00(2006.01)I;C08J9/30(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 主分类号 B24B37/00(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 王海川;穆德骏
主权项 一种研磨垫制造方法,包括:通过机械发泡法制备气泡分散的氨基甲酸酯组合物的工序;在输送面材A的同时从一个排出口将气泡分散的氨基甲酸酯组合物连续地排出到该面材A的宽度方向的近似中央部的工序;在该气泡分散的氨基甲酸酯组合物上层压面材B,之后通过厚度调节工具将气泡分散的氨基甲酸酯组合物的厚度调节均匀的工序;不施加另外的负荷而使前一工序中进行了厚度调节的气泡分散的氨基甲酸酯组合物固化,由此形成包含聚氨酯发泡体的研磨片的工序;和切割研磨片的工序,其中,排出时的气泡分散的氨基甲酸酯组合物的温度为40~70℃,面材A和面材B的温度调节至相对于排出时的气泡分散的氨基甲酸酯组合物的温度为‑20~+20℃的范围内。
地址 日本大阪府