| 主权项 |
一种供气管路系统包含：一供气管路有一外侧管路可供一外部供应端之隔绝阀接续，外侧管路往一用气设备端延伸有并联之主供应管路及旁路；该主供应管路设有高压供气阀及一低压供气阀；该旁路设有一旁路高压供气阀及旁路低压供气阀。该主供应管路与旁路会合后形成一设备接续管路，并设有一设备隔绝阀；一净化管路接续于供气管路之外侧管路并设有一净化隔绝阀；该净化管路延伸有并联之高压管路与低压管路；该高压管路连接一高压氮气钢瓶并设有高压入口阀，该低压管路连接高纯度氮气供应端并设有一低压入口阀及低压隔绝阀；一排气管路分别有一高压排气管接续于供气管路之外侧管路及接续于主供应管路之高、低压供气阀间之低压排气管路；该高压排气管设有一高压排气阀，该低压排气管路设有一低压排气阀；该高、低压排气管会合后连接一真空隔绝阀及一文氏管；一真空供应管设有一真空供应阀连接于该文氏管，一排气管亦连接于该文氏管；一可程式化控制器至少连接于该供气管路之高压供气阀、低压供气阀，净化管路之净化隔绝阀、高压入口阀、低压入口阀、低压隔绝阀，以及排气管路之高压排气阀、低压排气阀、及真空供应阀，藉以控制该等阀件之开闭；使用时，可程式化控制器可控制真空供应阀开启使文氏管产生真空，并自动依程序分别控制阀件使外侧管路内之气体经由高压供气阀、低压排气阀由排气管路排出，交替以使纯净氮气透过低压入口阀、低压隔绝阀及净化隔绝阀进入外侧管路；是以将外侧管路净化令使用者将外部供应端脱离时不会有残留气体污染环境之虞。如申请专利范围第1项所述之供气管路系统，其中该供气管路之高压供气阀、低压供气阀间设有调压阀。如申请专利范围第1项所述之供气管路系统，其中该旁路之旁路高压供气阀及旁路低压供气阀间设有一调压阀。如申请专利范围第1项所述之供气管路系统，其中该外侧管路设有一压力感应器可配合可程式化控制器进行外侧管路端与外部供应端间之气密性测试。如申请专利范围第1项所述之供气管路系统，其中该供气管路之高、低压供气阀间设有压力感应器可配合可程式化控制器进行气密性测试。如申请专利范围第1项所述之供气管路系统，其中该净化管路设有一压力感应器可配合可程式化控制器进行压力确认。如申请专利范围第1项所述之供气管路系统，其中该高压排气阀、低压排气阀会合后连接一压力感应器可配合可程式化控制器进行真空压力确认。 |
