| 主权项 |
一种带电粒子束描绘装置，其特征系具备：第1及第2记忆装置；转移处理部，其系将图案布局所定义之特定的每个区域的复数个设计资料档案予以依序转移处理至上述第1记忆装置；第1资料处理部，其系从上述第1记忆装置依序读出各设计资料档案，以能够和上述转移处理形成管线处理的方式来进行对各设计资料档案内的设计资料变换成特定格式的描绘资料之第1个的资料处理，且使处理后的描绘资料记忆于上述第2记忆装置；第2~第n资料处理部，其系从上述第2记忆装置依序读出各描绘资料，以从第1个到第n个为止的资料处理能够形成管线处理的方式来进行从分别对各描绘资料进行特定的资料处理之第2个的资料变换处理到第n个的资料处理的其中相异的1个处理，且使各处理后的资料记忆于上述第2记忆装置；描绘部，其系使用根据记忆于上述第2记忆装置之进行上述第n个的资料处理的各资料所控制的带电粒子束在试料描绘特定的图案，上述转移处理部，系转移以复数的格式的其中之一所作成的上述设计资料档案，上述第1资料处理部，作为上述第1个的资料处理，系将以上述复数的格式的其中之一所作成的上述设计资料档案的设计资料变换成特定格式的上述描绘资料。如申请专利范围第1项之带电粒子束描绘装置，其中，上述第2资料处理部，系进行格式检查。如申请专利范围第1项之带电粒子束描绘装置，其中，上述复数的设计资料档案，系以至少包含1个设计资料档案的特定资料大小的档案群来群组化，上述转移处理部，系按每个群组单位转移上述设计资料档案，从上述第1到第n的资料处理部，系以上述群组单位来进行各资料处理。如申请专利范围第1项之带电粒子束描绘装置，其中，上述第1记忆装置，系消去所被记忆之上述复数的设计资料档案中，进行上述第n个的资料处理之设计资料档案，上述转移处理部，系以能够抑制于上述第1记忆装置的记忆容量以内之方式，一边控制设计资料档案的转移时序，一边依序转移上述复数个设计资料档案的各设计资料档案。如申请专利范围第4项之带电粒子束描绘装置，其中，上述转移处理部，系于转移处理错误时，再度转移。如申请专利范围第4项之带电粒子束描绘装置，其中，上述转移处理部，系于上述第1记忆装置的记忆容量中无转移资料量的空间时，使处理流程待机至有上述转移资料量的空间为止。如申请专利范围第1项之带电粒子束描绘装置，其中，上述第1资料处理部，系于上述第2记忆装置的记忆容量中无足够容纳上述描绘资料的空间时，使处理流程待机至有上述处理后的描绘资料量的空间为止。如申请专利范围第7项之带电粒子束描绘装置，其中，上述第2记忆装置，系依序输出进行上述第n个的资料处理的各资料，消去输出后的资料。一种带电粒子束描绘方法，其特征为：将图案布局所定义之特定的每个区域的复数个设计资料档案予以依序转移至描绘装置内的第1记忆装置，而使记忆，从上述第1记忆装置依序读出各设计资料档案，以能够在上述描绘装置内和上述转移处理形成管线处理的方式来进行对各设计资料档案内的设计资料变换成特定格式的描绘资料之第1个的资料处理，且使处理后的描绘资料记忆于上述描绘装置内的上述第2记忆装置，从上述第2记忆装置依序读出各描绘资料，以从第1个到第n个为止的资料处理能够形成管线处理的方式来依序进行从分别对各描绘资料进行特定的资料处理之第2个的资料处理到第n个的资料处理的处理，且使各处理后的资料记忆于上述第2记忆装置，从上述第2记忆装置读出进行上述第n个的资料处理的各资料，使用根据所读出的上述各资料来控制的带电粒子束在试料描绘特定的图案，上述转移时，系转移以复数的格式的其中之一所作成的上述设计资料档案，作为上述第1个的资料处理，系将以上述复数的格式的其中之一所作成的上述设计资料档案的设计资料变换成特定格式的上述描绘资料。 |
