具有感测器之制造设备的缺陷检测方法及包含程式指令之电脑可读取记录媒体

主权项

一种具有感测器之制造设备的缺陷检测方法，该感测器具有该设备当前状态之输出指示，该方法包含之步骤有：(a)建立表示在一缺陷情况下该设备之状态的感测器资料(即“缺陷特点”)，(b)储存该资料于一缺陷特点库中，(c)使用该感测器判定该设备之当前状态，以及(d)依据该当前状态感测器资料与该缺陷特点库中之缺陷特点的比较而检测一缺陷。如申请专利范围第1项之方法，其中该缺陷特点本质上是跨越依据相同标称规格并且执行相同标称制程被建造之不同制造设备而不变化。如申请专利范围第2项之方法，其中于步骤(d)中，该比较进行于代表感测器资料自该缺陷特点之标称值的偏差之一组向量和代表感测器资料自该当前状态之标称值的偏差之对应一组向量之间。如申请专利范围第3项之方法，其中被使用以计算该当前状态之该组向量的标称值是来自该制造设备感测器之感测器资料的标称值。如申请专利范围第3项之方法，其中被使用以计算该当前状态之该组向量的标称值是来自依据如首次提及设备之该相同标称规格并且执行该相同标称制程被建造的不同制造设备之感测器的感测器资料标称值。如申请专利范围第3、4或5项之方法，其中该比较利用在该缺陷特点和当前状态向量组之间的相关性来进行。如申请专利范围第3、4或5项之方法，其中该比较利用计算在该缺陷特点和当前状态向量组之间的一欧几里德(Euclidean)距离来进行。如申请专利范围第3、4或5项之方法，进一步地包含预测该缺陷对于一特定制程输出产生的影响。如申请专利范围第3、4或5项之方法，进一步地包含控制设备输入以补偿该缺陷。如申请专利范围第3、4或5项之方法，其中该缺陷特点从包含设备输入相对于感测器反应之曲线组的工具变量曲线被导出。如申请专利范围第3、4或5项之方法，其中该制造设备包含一电浆容室。一种包含程式指令之电脑可读取记录媒体，该等指令在由一资料处理装置执行时，会进行下列步骤：(a)建立表示在一缺陷情况下该设备之状态的感测器资料(即“缺陷特点”)，(b)储存该资料于一缺陷特点库中，(c)使用感测器判定该设备之当前状态，以及(d)依据该当前状态感测器资料与该缺陷特点库中之缺陷特点的比较而检测一缺陷。