用于封装一MEMS装置的方法及系统

摘要

本发明涉及用于封装一MEMS装置的方法及系统。本发明揭示一种基于MEMS的显示装置，其中一干涉式调制器阵列配置成使光反射穿过一透明衬底。所述透明衬底密封至一背板，且所述背板可包含用于控制所述干涉式调制器阵列的电子电路。所述背板可为装置组件(例如，可用于控制所述显示器的状态的电子组件)提供实体支撑。所述背板还可用作所述装置的一个主要结构支撑。

主权项

一种显示器装置，其包括：干涉调制器阵列，其安置在透明衬底的第一表面上；载体，其密封至所述透明衬底以形成囊封所述干涉调制器阵列的封装；外装置壳，其中所述载体安置在所述外装置壳中，且其中所述载体的硬度大于所述外装置壳的硬度。