| 发明名称 | 一种TiO<sub>2</sub>/WO<sub>3</sub>复合薄膜的制备方法及所得薄膜的应用 | ||
| 摘要 | 本发明属于光电材料新能源领域，特别涉及TiO2/WO3复合薄膜的制备方法。首先使用双极脉冲磁控溅射在基底上溅射TiO2薄膜，然后在溅射好的TiO2薄膜上二次沉积WO3薄膜，将获得的复合薄膜进行退火处理即得TiO2/WO3复合薄膜。本发明采用双极脉冲磁控溅射法，制备灵活、可控性好，有望在工业中形成规模化生产。 | ||
| 申请公布号 | CN102168247A | 申请公布日期 | 2011.08.31 |
| 申请号 | CN201110094055.X | 申请日期 | 2011.04.15 |
| 申请人 | 河南大学 | 发明人 | 杜祖亮;乔振聪;程轲;庞山 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B01J23/30(2006.01)I;B01J21/06(2006.01)I;B01J37/03(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人 | 刘建芳 |
| 主权项 | 一种TiO2/WO3复合薄膜的制备方法，其特征在于，首先使用双极脉冲磁控溅射在基底上溅射TiO2薄膜，然后在溅射好的TiO2薄膜上二次沉积WO3薄膜，将获得的复合薄膜进行退火处理即得TiO2/WO3复合薄膜。 | ||
| 地址 | 475001 河南省开封市明伦街85号 | ||