发明名称 |
用于有机EL显示器的反射阳极电极及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种用于有机EL显示器的反射阳极电极,其具备的Al合金反射膜能够实现与氧化物导电膜的低接触电阻,同时能够实现优异的反射率。本发明的用于有机EL显示器的反射阳极电极的制造方法,其特征在于,在基板上形成含有0.1~2原子%Ni或Co的Al合金膜,在真空或惰性气体气氛下,以150℃以上的温度对所述Al合金膜实施热处理,接着,以与所述Al合金膜直接接触的方式形成氧化物导电膜。 |
申请公布号 |
CN102165847A |
申请公布日期 |
2011.08.24 |
申请号 |
CN200980137648.0 |
申请日期 |
2009.11.09 |
申请人 |
株式会社神户制钢所 |
发明人 |
越智元隆;后藤裕史;岸智弥;川上信之 |
分类号 |
H05B33/26(2006.01)I;G09F9/30(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
H05B33/26(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
雒运朴 |
主权项 |
一种用于有机EL显示器的反射阳极电极的制造方法,其特征在于,在基板上使含有0.1~2原子%Ni或Co的Al合金膜成膜,在真空或惰性气体气氛下、以150℃以上的温度对所述Al合金膜实施热处理,使氧化物导电膜按照与所述Al合金膜直接接触的方式成膜。 |
地址 |
日本兵库县 |