发明名称 用于有机EL显示器的反射阳极电极及其制造方法
摘要 本发明提供一种用于有机EL显示器的反射阳极电极,其具备的Al合金反射膜能够实现与氧化物导电膜的低接触电阻,同时能够实现优异的反射率。本发明的用于有机EL显示器的反射阳极电极的制造方法,其特征在于,在基板上形成含有0.1~2原子%Ni或Co的Al合金膜,在真空或惰性气体气氛下,以150℃以上的温度对所述Al合金膜实施热处理,接着,以与所述Al合金膜直接接触的方式形成氧化物导电膜。
申请公布号 CN102165847A 申请公布日期 2011.08.24
申请号 CN200980137648.0 申请日期 2009.11.09
申请人 株式会社神户制钢所 发明人 越智元隆;后藤裕史;岸智弥;川上信之
分类号 H05B33/26(2006.01)I;G09F9/30(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I 主分类号 H05B33/26(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 雒运朴
主权项 一种用于有机EL显示器的反射阳极电极的制造方法,其特征在于,在基板上使含有0.1~2原子%Ni或Co的Al合金膜成膜,在真空或惰性气体气氛下、以150℃以上的温度对所述Al合金膜实施热处理,使氧化物导电膜按照与所述Al合金膜直接接触的方式成膜。
地址 日本兵库县