发明名称 |
一种在氮化铝晶体上的欧姆接触电极结构及制备方法 |
摘要 |
本专利公开了一种在氮化铝晶体上的欧姆接触电极结构及制备方法,AlN材料结构包括:一衬底;一AlN缓冲层;一本征型AlN层。通过先在本征型AlN上生长欧姆接触电极结构:钒金属层/铝金属层/钒金属层/金金属层,厚度依次为15~25μm/50~100μm/15~25μm/50~100μm;然后进行In离子注入,注入剂量大于1×10 14cm -2,能量大于150keV;并进行高温退火激活工艺,制备出AlN材料上的欧姆接触。AlN欧姆接触的实现,有助于解决日盲型材料的欧姆接触问题,提高日盲器件的性能;并解决了制备高性能真空紫外响应器件的瓶颈。 |
申请公布号 |
CN101707215B |
申请公布日期 |
2011.08.10 |
申请号 |
CN200910226314.2 |
申请日期 |
2009.11.18 |
申请人 |
中国科学院上海技术物理研究所 |
发明人 |
储开慧;许金通;包西昌;李向阳;戴江;陈长清 |
分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
郭英 |
主权项 |
一种在氮化铝晶体上的欧姆接触电极结构,其特征在于:在依次生长有厚度为0.1~2微米未掺杂的低温AlN层和厚度为0.4微米的本征型AlN的衬底(1)上通过电子束蒸发依次制作厚度为15~25μm的钒金属层(3),厚度为50~100μm的铝金属层(4),厚度为15~25μm的钒金属层(5),厚度为50~100μm的金金属层(6),形成欧姆接触电极。 |
地址 |
200083 上海市玉田路500号 |