一种钨合金靶材及其制备方法

摘要

本发明公开了一种大尺寸、高密度和高纯度的高温钨合金靶材，及其制备方法。该制备方法采用独特的变压及双模式组合烧结技术，具体包括以下操作步骤：在真空和变压条件下，采用等离子放电和直流电双模式组合方式对靶材原料粉末进行烧结，得到钨合金靶材。本发明技术可以制备密度大于99.98％TD、成分及微观组织结构均匀可控的大尺寸难熔合金靶材，达到现有高温难熔合金靶材制备技术无法实现的高性能和大尺寸。同时本发明技术具有烧结时间短、能量效率高、设备及模具损耗小的特点，有效的降低了生产制备成本。

主权项

一种钨合金靶材的制备方法，其特征在于包括以下操作步骤：在真空和变压条件下，采用等离子放电和直流电双模式组合方式对靶材原料粉末进行烧结，得到钨合金靶材。