实心金属微针阵列的制备方法

摘要

一种生物医学工程技术领域的实心金属微针阵列的制备方法，首先在硅片上溅射种子层，接着在种子层上甩光刻胶并光刻开出电镀孔阵列，然后在电镀孔阵列中电镀金属得到金属块阵列并用切片机夹持斜面刀具切割电镀的金属块阵列，最后去除光刻胶得到斜顶金属微针阵列。本发明制备得到尖锐的斜顶金属微针阵列，此微针阵列具有很好的强度及韧性，易于刺入皮肤。同时本发明制备过程简单，采用光刻和机械加工结合的方法制备此微针阵列，工艺简单，成本低且便于普及。

主权项

一种实心金属微针阵列的制备方法，其特征在于，首先在硅片上溅射种子层，接着在种子层上甩光刻胶并光刻开出电镀孔阵列，然后在电镀孔阵列中电镀金属得到金属块阵列并用切片机夹持斜面刀具切割电镀的金属块阵列，最后去除光刻胶得到斜顶金属微针阵列。