涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置，其用于多面取涂敷设备上，该多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器，其中，该自动测量装置包括：滑块，可滑动地设置在横梁上；可伸缩的机械臂，一端固定于滑块上；第二传感器，安装于上述可伸缩的机械臂的另一端，该第二传感器至少具有测量上述ND方向膜厚的第一姿态，以及驱动装置，驱动上述滑块在横梁上滑动，以带动该第二传感器在ND方向移动。本发明还公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法。本发明能解决目前多面取涂层ND方向膜厚不能自动测量的问题，从而减少了对玻璃基板的损伤，并减少了设备的制作成本、节约了工艺动作和时间、提高了生产效率。

主权项

一种涂敷层喷嘴方向膜厚的自动测量装置，所述自动测量装置用于多面取涂敷设备上，所述多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器，其特征在于，所述自动测量装置包括：滑块，可滑动地设置在所述横梁上；可伸缩的机械臂，一端固定于所述滑块上；第二传感器，安装于所述可伸缩的机械臂的另一端，所述第二传感器至少具有通过控制所述可伸缩的机械臂的伸长而达到测量所述喷嘴方向膜厚的第一姿态，使所述第二传感器在沿着所述喷嘴方向运动时不会碰到所述多个第一传感器；以及驱动装置，驱动所述滑块在横梁上滑动。