光刻设备和方法

摘要

本发明公开了一种光刻设备和方法。具体地，本发明提供一种用于清洁衬底台或位于衬底台的顶部表面的物体的顶部表面的受限制的区域的方法。在正常成像过程中使用的光学系统被调整用于限制辐射束的横截面面积，以形成投射到受限制的区域上的清洁辐射束。

主权项

一种清洁在光刻设备中的衬底台或位于衬底台上的物体的顶部表面的区域的方法，所述方法包括步骤：在所述区域和所述光刻设备的光学系统的最终元件之间提供液体，其中光学系统在正常操作中用于产生图案化的辐射束并投影图案化的辐射束到衬底上；和用所述光学系统将清洁辐射束穿过所述液体投影到所述区域上；其中所述投影步骤包括调整所述光学系统以相对于所述图案化的辐射束限制投射到所述区域上的所述清洁辐射束的横截面面积，其中所述调整所述光学系统的步骤包括调整孔的尺寸和/或形状，其中在衬底成像过程中在所述图案化的辐射束通过掩模之前所述图案化的辐射束通过所述孔。