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发明名称 Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf einem Träger mittels Ionenstrahlzerstäubung sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DD52181(A1) 申请公布日期 1966.12.05
申请号 DD19650111779 申请日期 1965.07.03
申请人 SCHILLER SIEGFRIED;HEISIG ULLRICH;BEISTER GUENTHER 发明人 SCHILLER SIEGFRIED;HEISIG ULLRICH;BEISTER GUENTHER
分类号 C23C14/46 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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