发明名称 一种具有场发射性质的掺N的SiC纳米线的制备方法
摘要 一种具有场发射性能的掺N的SiC纳米线的制备方法,其包括以下具体步骤:(1)有机前驱体聚硅氮烷在保护气氛N2或Ar气气氛下,于260℃进行低温交联固化,得到非晶态固体,然后球磨粉碎;(2)将C基板在0.1~0.3mol/LFe(NO3)3或Co(NO3)2乙醇溶液中浸渍2~10s;(3)将粉碎得到的粉末置于石墨坩埚的底部,在其上方放置浸渍处理的C基板;(4)将石墨坩埚置于气氛烧结炉中,在Ar和N2不同比例的混合气氛保护下于1350~1550℃范围内进行高温热解,保温5~120min;(5)随炉冷却至室温,由此可在C基板上得到原位掺杂N的SiC纳米线。与已报道的没有掺杂的和掺Al的SiC纳米线阵列的场发射相比,本发明实现了掺N的具有优良场发射性能的SiC纳米线阵列的制备。
申请公布号 CN102041554A 申请公布日期 2011.05.04
申请号 CN201110020858.0 申请日期 2011.01.19
申请人 青岛大学 发明人 张新霓;陈友强;龙云泽
分类号 C30B29/36(2006.01)I;C30B29/62(2006.01)I;C30B25/00(2006.01)I 主分类号 C30B29/36(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种具有场发射性能的掺N的SiC纳米线的制备方法,其包括以下具体步骤:(1)有机前驱体聚硅氮烷在保护气氛N2或Ar气气氛下,于260℃进行低温交联固化,得到非晶态固体;(2)将非晶态固体在球磨机中进行球磨粉碎;(3)将C基板在0.1~0.3mol/LFe(NO3)3或Co(NO3)2乙醇溶液中浸渍2~10s(4)将粉碎得到的粉末置于石墨坩埚的底部,在其上方放置浸渍处理的C基板;(5)将石墨坩埚置于气氛烧结炉中,在Ar和N2不同比例的混合气氛保护下于1350~1550℃范围内进行高温热解,保温5~120min;(6)随炉冷却至室温,由此可在C基板上得到原位掺杂N的SiC纳米线;(7)将得到的原位掺杂N的SiC纳米线阵列进行场发射测试。
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