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发明名称 PROCEDE DE MULTI IMPLANTATION DANS UN SUBSTRAT.
摘要
申请公布号 FR2934924(B1) 申请公布日期 2011.04.22
申请号 FR20080055439 申请日期 2008.08.06
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 SIGNAMARCHEIX THOMAS;DEGUET CHRYSTEL;MAZEN FREDERIC
分类号 H01L21/265;H01L21/762 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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