| 发明名称 | 回收处理生产多晶硅所产生的尾气的方法 | ||
| 摘要 | 一种回收处理生产多晶硅所产生的尾气的方法，所述尾气主要包括氢气、氯化氢、和二氯二氢硅，包括以下步骤：使尾气通过液态的四氯化硅，以便氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的四氯化硅中，从而将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离，由此回收氢气；对溶解了氯化氢和二氯二氢硅的四氯化硅升温和/或加压，使氯化氢和二氯二氢硅从液态四氯化硅中解吸出来；和通过控制解吸出来的气态的氯化氢和二氯二氢硅的压力和/或温度使二氯二氢硅变为液态而氯化氢保持为气态，从而分离并分别回收氯化氢与二氯二氢硅。本发明采用四氯化硅干法处理和回收尾气，并可再用于多晶硅生产中，原料得到充分的利用，减少了污染物，解决了环境污染问题，降低了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101376078B | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN200710121058.1 | 申请日期 | 2007.08.29 |
| 申请人 | 中国恩菲工程技术有限公司 | 发明人 | 沈祖祥;严大洲;汤传斌;肖荣晖;毋克力 |
| 分类号 | B01D53/14(2006.01)I;C01B3/52(2006.01)I;C01B7/07(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 廖元秋 |
| 主权项 | 一种回收处理生产多晶硅所产生的尾气的方法，所述尾气主要包括氢气、氯化氢、和二氯二氢硅，所述方法包括以下步骤：使所述尾气通过液态的四氯化硅，以便氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的四氯化硅中，从而将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离，由此回收氢气；对溶解了氯化氢和二氯二氢硅的四氯化硅进行升温到70～220℃，使氯化氢和二氯二氢硅从液态四氯化硅中解吸出来；和通过控制解吸出来的气态的氯化氢和二氯二氢硅的压力和/或温度，使二氯二氢硅变为液态而氯化氢保持为气态，从而分离并分别回收氯化氢与二氯二氢硅。 | ||
| 地址 | 100038 北京市海淀区复兴路12号 | ||