光电一体式测试系统和光电测试方法

摘要

本发明公开了一种光电一体式测试系统和光电测试方法，其中光电一体式测试系统包括支撑测试样品的测试基台，在所述测试基台内部设置有交换组件、集成控制组件和多个测试组件，各个所述测试组件与所述交换组件和所述集成控制组件相连，所述集成控制组件用于集中控制所述交换组件和所述多个测试组件。本发明还提供了一种光电测试方法。本发明实现对利用一个系统便可以完成对同一个测试样品进行各个阶段的多种光学测试和电学测试，解决了现有技术中需要将测试样品在多个测试设备或驱动设备之间不断移动的问题，保证了测试过程中测试样品的状态和测试环境的稳定性，减少了测试设备或驱动设备的占地面积，节约了成本，实现了设备的集约化和高效化。

主权项

一种光电一体式测试系统，其特征在于，包括支撑测试样品的测试基台，在所述测试基台内部设置有交换组件、集成控制组件和多个测试组件，各个所述测试组件与所述交换组件和所述集成控制组件相连，所述集成控制组件用于集中控制所述交换组件和所述多个测试组件。