| 发明名称 | 压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头及装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供可靠性高的压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头及装置。本发明的压电元件(100)包括基板(10)、设置在基板(10)的上方的第1导电层(20)、覆盖第1导电层(20)的上方及侧方的压电体层(30)、设置在压电体层(30)的顶面(32)且沿顶面(32)的边缘而设置的缓冲层(40)和至少覆盖缓冲层(40)及压电体层(30)的第2导电层(50)。 | ||
| 申请公布号 | CN101997080A | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN201010260161.6 | 申请日期 | 2010.08.20 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 中山雅夫 |
| 分类号 | H01L41/047(2006.01)I;H01L41/22(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/047(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 陈海红;周春燕 |
| 主权项 | 一种压电元件，包括：基板；设置在所述基板的上方的第1导电层；覆盖所述第1导电层的上方及侧方的压电体层；缓冲层，其设置在所述压电体层的上方，沿该压电体层的顶面的边缘而设置；以及至少覆盖所述缓冲层及所述压电体层的第2导电层。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||