| 主权项 |
一种上部电极，是针对与载置有被处理基板的载置台相对而配置，在其与前述载置台之间产生处理气体的电浆用之上部电极，其特征为具备：内部形成有冷媒流通用之冷媒流路的同时，形成有使前述处理气体通过之多数通孔之冷却区块；藉由具有柔软性之导热构件，可装脱自如地固定在前述冷却区块的下面，形成有使前述处理气体朝向前述载置台之前述被处理基板吐出之多数吐出口之电极板；及设置于前述冷却区块的上侧，形成在与前述冷却区块之间使前述处理气体扩散用之处理气体扩散用空隙而构成的电极基体；前述冷媒流路系以位于全部之各个前述通孔之邻接位置的方式，被弯曲配置在冷却区块内，而且在弯曲配置之前述冷媒流路之中，邻接之前述冷媒流路的冷媒流向系成为相反而构成；除了设置在前述冷却区块的最外围部的前述冷媒流路外，设置于内圈部的前述冷媒流路系弯曲形成为直线部分的最大长度为前述通孔配置间距的3间距分。如申请专利范围第1项所记载之上部电极，其中，前述冷媒流路系被分割为复数而设置为复数个系统。如申请专利范围第2项所记载之上部电极，其中，复数系统之前述冷媒流路系分别朝向前述冷却区块的中央方向导入冷媒，此后，依序朝向外围部流通冷媒而形成。如申请专利范围第2项所记载之上部电极，其中，前述电极板系构成为圆板状，藉由设置于其之外围部分的复数之外围侧锁紧螺丝，和设置在比这些外围侧锁紧螺丝还内侧部分之复数的内圈侧锁紧螺丝，而被固定在前述冷却区块。如申请专利范围第4项所记载之上部电极，其中，前述外围侧锁紧螺丝及前述内圈侧锁紧螺丝，系设置为由前述电极基体的上侧与前述电极板螺合，在前述电极基体和前述电极板之间夹住前述冷却区块而构成。如申请专利范围第5项所记载之上部电极，其中，在前述电极基体和前述电极板之间设置有特定的空隙，在前述冷却区块和前述电极板受到按压之状态下，前述电极基体和前述冷却区块和前述电极板被固定成为一体而构成。 |
