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发明名称
摘要
申请公布号
JP4622424(B2)
申请公布日期
2011.02.02
申请号
JP20040283913
申请日期
2004.09.29
申请人
发明人
分类号
H01L29/786;H01L21/336;H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
主权项
地址
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