用于多腔室工具的臭氧系统

摘要

用于控制与多腔室工具有关的臭氧浓度的改进系统和方法。该系统和方法包括与臭氧发生器相组合的第一和第二浓度控制器。第一浓度控制器检测EVENT(即，多腔室工具中的腔室之一进入在线或离线状态)，并且作为响应根据预测控制算法而把功率指令提供给臭氧发生器。第一浓度控制器具有快速(即，约1秒)的响应时间。在EVENT期间，第二浓度控制器对于臭氧发生器而言是屏蔽起来的，但是在EVENT后消逝一段时间间隔之后就控制该发生器。第二浓度控制器具有比第一浓度控制器要慢的响应时间，然而，第二浓度控制器给系统提供了长期的稳定性，并且可以用于向预测控制算法提供经更新的数据。

主权项

一种用于控制臭氧的流量和浓度的系统，该系统包括：臭氧发生器，所述臭氧发生器包括可调节功率输入、连接到气源的可调节气体输入以及连接到多个处理腔室的气体输出，设置多个处理腔室中的每一个以便在受到激励时允许预定流速的臭氧通过其中，其中多个处理腔室之一进入在线或离线状态被称为“事件”；流量传感器，用于测量通过多个处理腔室的总流速；与流量传感器和臭氧发生器进行通信的第一控制器，所述第一控制器用于通过将总流速与预定流速进行比较而确定所述“事件”的发生，还用于在所述“事件”发生时根据存储在查找表中的数据来调节臭氧发生器的可调节功率输入；浓度传感器，用于测量臭氧发生器的气体输出中的臭氧的浓度水平；以及与浓度传感器和臭氧发生器进行通信的第二控制器，所述第二控制器用于从所述“事件”发生之后的给定时间起调节所述可调节功率输入。