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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL
摘要
申请公布号 KR100997964(B1) 申请公布日期 2010.12.02
申请号 KR20030038713 申请日期 2003.06.16
申请人 发明人
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;B08B7/00;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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