发明名称 | 半导体元件 | ||
摘要 | 本发明涉及一种半导体元件,其具备:第1导电型的硅基板(2a),具有第1面(S1a)和第2面(S2a);第2导电型的硅层(4a),设置在硅基板(2a)的第1面(S1a)上,并具有位于和硅基板(2a)相接合的面的相对侧的第3面(S3a);第1电极(12a),设置在第2面(S2a)上;第2电极(14a),设置在第3面(S3a)上;氩添加区域(6a),形成在由硅基板(2a)以及硅层(4a)构成的半导体区域中;其中,氩添加区域(6a)包括氩浓度显示为1×1018cm-3以上、2×1020cm-3以下的区域。 | ||
申请公布号 | CN101132045B | 申请公布日期 | 2010.10.20 |
申请号 | CN200710146678.0 | 申请日期 | 2007.08.24 |
申请人 | 浜松光子学株式会社 | 发明人 | 楚树成;菅博文 |
分类号 | H01L33/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L33/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
主权项 | 一种半导体元件,其特征在于,具备:第1导电型的硅基板,具有第1面和位于该第1面的相对侧的第2面;第2导电型的硅层,设置在所述硅基板的所述第1面上,并且具有位于和该硅基板相接合的面的相对侧的第3面;第1电极,设置在所述第2面上;第2电极,设置在所述第3面上;氩添加区域,形成在由所述硅基板以及所述硅层构成的半导体区域中,其中,所述氩添加区域包括氩浓度显示为1×1018cm-3以上且2×1020cm-3以下的区域。 | ||
地址 | 日本静冈县 |