用于操作自动化系统的方法和系统

摘要

提供一种用于操作由执行模型定义的自动化工艺的方法。自动化工艺包括多个子工艺。该方法包括在多个子工艺的第一子工艺期间检测到(204)事件，并且通过操作写入执行模型中的卸载过程，重置(206)第一子工艺。该方法还包括操作预工艺和预子工艺过程中的至少一个，以有利于在自动化工艺的预定步骤继续自动化工艺。将预工艺和预子工艺过程写入执行模型中。

主权项

一种用于操作由执行模型定义的自动化工艺的方法，其中所述自动化工艺包括多个子工艺，所述方法包括：在所述多个子工艺的第一子工艺期间检测到事件；通过操作写入所述执行模型中的卸载过程，重置所述第一子工艺；操作预工艺和预子工艺过程中的至少一个，以有利于在所述自动化工艺的预定步骤继续所述自动化工艺，其中将所述预工艺和所述预子工艺过程写入所述执行模型中。