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一种静电保持装置，系以被绝缘材被覆的复数个电极所构成的电极群组作为保持面，并对该电极群组施加既定电压，藉静电力将保持对象物予以非接触地浮动保持，其特征在于，具备：距离检测机构，用以检测该电极与保持对象物间的距离；控制装置，系根据藉该距离检测机构所检测出的距离资讯，来将该保持对象物浮动保持成与该电极离既定距离；及内部极化消去机构，系对施加于该电极群组的电压极性进行切换，俾将在该绝缘材内所产生的内部极化消去。一种静电保持装置，系以被绝缘材被覆的复数个电极所构成的电极群组作为保持面，并对该电极群组施加既定电压，藉静电力将保持对象物予以非接触地浮动保持，其特征在于，具备：距离检测机构，用以检测该电极与保持对象物间的距离；控制装置，系根据藉该距离检测机构所检测出的距离资讯，来将该保持对象物浮动保持成与该电极离既定距离；及施加电压控制部，系作为施加电压切换机构而动作，该施加电压切换机构系在每次从切断该电极群组的施加电压切换为施加时，对同一电极群组施加与前次的施加电压呈反极性的电压。一种静电保持装置，系以被绝缘材被覆的复数个电极所构成的电极群组作为保持面，并对该电极群组施加既定电压，藉静电力将保持对象物予以非接触地浮动保持，其特征在于，具备：距离检测机构，用以检测该电极与保持对象物间的距离；控制装置，系根据藉该距离检测机构所检测出的距离资讯，来将该保持对象物浮动保持成与该电极离既定距离；及施加电压控制部，系作为反极性电压产生机构而动作，该施加电压切换机构系在保持时，产生与施加于该电极群组的电压呈反极性的电压；在静电力降低的情况，可对该电极群组施加藉该反极性电压产生机构所产生的反极性电压。一种静电保持装置，系以被绝缘材被覆的复数个电极所构成的电极群组作为保持面，并对该电极群组施加既定电压，藉静电力将保持对象物予以非接触地浮动保持，其特征在于，具备：距离检测机构，用以检测该电极与保持对象物间的距离；控制装置，系根据藉该距离检测机构所检测出的距离资讯，来将该保持对象物浮动保持成与该电极离既定距离；及施加电压控制部，系作为电压施加机构而动作，该电压施加机构系对该电极群组的施加电压进行反极性交替变换。一种静电顶针组件，其特征在于：系使用申请专利范围第1~4项中任一项之静电保持装置，并将该保持面作为顶针组件吸引部。一种静电保持装置，系具备用以控制电极施加电压之控制部，藉静电力将保持对象物予以非接触地浮动保持，其特征在于，具备：距离检测机构，用以检测该电极与保持对象物间的距离；该电极，系由透过绝缘区域而邻接排列的一对或复数对的电极A及电极B所构成；该控制部，系对该电极A及电极B施加互为反极性的电压，且对同一电极元件交替施加正负反极性的电压。如申请专利范围第1项之静电保持装置，其中，该保持对象物系保持成直接或透过其他构件来与该电极接触。一种运送装置，其特征在于：系采用申请专利范围第1~4项及第6项中任一项之静电保持装置而成者。 |
