发明名称 PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR DIE HALBLEITER-LITHOGRAPHIE
摘要
申请公布号 DE60333600(D1) 申请公布日期 2010.09.09
申请号 DE20036033600 申请日期 2003.12.03
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 HEINTEL, WILLI;KIRCHNER, HARALD;KELLER, WOLFGANG;KWAN, YIM-BUN PATRICK;FROMMEYER, ANDREAS;MORRISON, FRASER G.
分类号 G03F7/20;G02B7/00;G02B7/18;G02B7/182 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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