电压可变型薄膜沉积方法及其设备

摘要

公开了一种电压可变型薄膜沉积装置和方法。该电压可变型薄膜沉积方法包括：施加偏压，同时在用户设置的时间段内连续变化该偏压的大小，以确定是否使用预设的偏压值；如果确定使用该预设的偏压值，作为该确定的结果，基于预设的偏压值沉积薄膜，而如果确定使用新的偏压值，则设置新的偏压值；当设置了新的偏压值时，选择是从低偏压还是从高偏压施加电压；当选择了起始电压时，选择偏压的增加/减少斜率类型；以及当选择了电压斜率时，开始沉积薄膜。

主权项

一种电压可变型薄膜沉积方法，包括：施加偏压，将薄膜材料引导至目标物体，以使得所述薄膜材料被沉积在所述目标物体上，同时在用户所设置的时间段内连续改变所述偏压的大小。