一种基于透明材料的激光镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种基于透明材料的激光镀膜装置，属于微加工领域。该装置包括计算机、与计算机相连的激光器、安装在激光器上的激光控制系统、工作台、透明材料板、靶材和平板；其中：激光器与计算机相连，工作台设置在激光控制系统的下方，透明材料、靶材和平板从上到下依次放置在工作台上。镀膜时将靶材置于透明材料板的下面，激光从上面穿过透明材料照射在靶材上，靶材受热熔化溅射至靠近的透明基板上，高热量使透明材料基底产生微熔，从而在透明材料上形成镀层。本实用新型装置简单，成本低廉，可在透明材料表面镀覆微米级或纳米级厚度的膜层，精度高，可控性好，膜层具有良好的边缘锐度，膜层形状可通过计算机输出控制。

主权项

一种基于透明材料的激光镀膜装置，其特征在于：包括计算机、与计算机相连的激光器、安装在激光器上的激光控制系统、工作台、透明材料板、靶材和平板；其中：激光器与计算机相连，工作台设置在激光控制系统的下方，透明材料、靶材和平板从上到下依次放置在工作台上。