发明名称 真空腔定位机构
摘要 本发明公开了一种真空腔定位机构,适用于对提供真空环境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑,所述真空腔定位机构包括支架、支臂、铰链轴及定位杆,所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接,所述支臂的起始端与所述腔盖固定连接,所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔,所述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接,所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔,所述定位杆可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。本发明具有定位及支撑功能,结构简单、性能安全可靠。
申请公布号 CN101814452A 申请公布日期 2010.08.25
申请号 CN200910246916.4 申请日期 2009.12.01
申请人 东莞宏威数码机械有限公司 发明人 杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;郭远伦;王曼媛;王勇
分类号 H01L21/68(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人 张艳美;郝传鑫
主权项 一种真空腔定位机构,适用于对提供真空环境的真空腔体进行密封的腔盖进行定位及支撑,其特征在于:所述真空腔定位机构包括支架、支臂、铰链轴及定位杆,所述支架的起始端与所述真空腔体固定连接,所述支臂的起始端与所述腔盖固定连接,所述支架的末端与所述支臂的末端相互重叠且均开设有相互对应的容置孔,所述铰链轴枢接地穿过所述容置孔使所述支架与所述支臂枢接,所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心为圆心等径地开设有定位孔,所述定位杆可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔内实现支臂与支架的固定。
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