发明名称 |
一种高纯碳化硅微粉的回收提纯和分级方法 |
摘要 |
本发明涉及一种高纯碳化硅微粉的回收提纯和分级方法。基于硅片切割加工砂浆实现高纯碳化硅微粉回收提纯和分级的步骤包括:步骤一:在硅片切割加工砂浆中加絮凝剂以加速沉降,用量为0.1%-10%,经过滤得到固体物;步骤二:将固体物进行碱洗、酸洗和清洗,得到碳化硅浆料;步骤三:在碳化硅浆料中加入分散剂,用量0.1%-20%;步骤四:通过分级、分号装置,进行悬浮法水力分级,控制分级控制水流量收集溢流微粉,经烘干得到不同规格和粒度组成的高纯度碳化硅产品。该技术回收提纯和分级方法简便,可控性强,碳化硅产品粒群集中且粒度分布均匀,工业化实施的设备投资环境和运行成本低,便于大规模工业化实施。 |
申请公布号 |
CN101804983A |
申请公布日期 |
2010.08.18 |
申请号 |
CN201010153835.2 |
申请日期 |
2010.04.23 |
申请人 |
连云港佳宇电子材料科技有限公司 |
发明人 |
刘来宝;朱志翔;孙余凭 |
分类号 |
C01B31/36(2006.01)I;C10M175/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I |
主分类号 |
C01B31/36(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种高纯碳化硅微粉的回收提纯和分级方法。其特征在于,基于硅片切割加工砂浆实现高纯碳化硅微粉回收提纯和分级的步骤包括:步骤一:在硅片切割加工砂浆中加絮凝剂以加速沉降,用量为0.1%-10%,经过滤得到固体物;步骤二:将固体物进行碱洗、酸洗和清洗,得到碳化硅浆料;步骤三:在碳化硅浆料中加入分散剂,用量0.1%-20%;步骤四:通过分级、分号装置,进行悬浮法水力分级,控制分级控制水流量收集溢流微粉,经烘干得到不同规格和粒度组成的高纯度碳化硅产品。 |
地址 |
222115 江苏省连云港市赣榆县金山镇金桥路8号 |