一种微机电系统热式流量计

摘要

本发明属传感器技术领域和微机电系统技术领域，涉及一种基于流量传感技术中热式流量测量原理并利用微机电系统的加工技术制造的流量计。包括一个主热源，与主热源等距的一组测热单元，一组辅助热源，以及相应的主热源和辅助热源的控制电路。本发明流量计同时具有温差式高灵敏度和风速计式宽量程的特点，能实现更高的灵敏度和更宽的量程，并且利用微机点系统技术制成亚毫米级尺寸的热式流量计更具有压力损失可忽略、热响应速度快、一致性好等优点。

主权项

一种微机电系统热式流量计，其特征是包括一个主热源(4)，与主热源等距的一组测热单元(6)，一组辅助热源(5)，以及相应的主热源和辅助热源的控制电路。