一种快速热退火机台

摘要

本实用新型公开了一种快速热退火机台，属于半导体加工技术领域。所述快速热退火机台，包括用于放置晶片盒的平台，所述平台为方形，所述平台上设置有用于检测所述晶片盒是否放置平稳的晶片盒传感器，所述晶片盒传感器包括第一至第三晶片盒传感器，所述第一至第三晶片盒传感器分别位于所述平台的三个角部，其中，所述晶片盒传感器还包括第四晶片盒传感器，所述第四晶片盒传感器位于所述平台的第四个角部。本实用新型能够检测出晶片盒整体未放置平稳，从而避免了现有机台中三个晶片盒传感器无法探测到的晶片盒未放置平稳的风险。

主权项

一种快速热退火机台，包括用于放置晶片盒的平台，所述平台为方形，所述平台上设置有用于检测所述晶片盒是否放置平稳的晶片盒传感器，所述晶片盒传感器包括第一至第三晶片盒传感器，所述第一至第三晶片盒传感器分别位于所述平台的三个角部，其特征在于，所述晶片盒传感器还包括第四晶片盒传感器，所述第四晶片盒传感器位于所述平台的第四个角部。